[发明专利]一种AlSc靶材的制备方法在审
申请号: | 202011529736.X | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN112695284A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;廖培君;周友平 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F3/10;B22F3/14;B22F5/00 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种AlSc靶材的制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)将Al粉和Sc粉混合得到混合粉末,将所述混合粉末置于第一包套中进行冷压成型处理;(2)对所述第一包套进行焊接,并进行真空脱气,之后进行第一热压烧结,去除所述第一包套得到AlSc毛坯;(3)将所述AlSc毛坯置于第二包套中,焊接后进行真空脱气,之后进行第二热压烧结,得到所述AlSc靶材。所述制备方法制备得到的AlSc靶材脆性相比例降低,AlSc靶材的弯曲强度以及抗冲击性性能得到了有效提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 alsc 制备 方法 | ||
【主权项】:
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