[发明专利]一种封闭式振动膜压电MEMS扬声器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011529954.3 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112543408B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;王淇 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00;B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;赵楠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种封闭式振动膜压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：在基底上依次制备第一电极、压电层及第二电极；依次对第二电极、压电层及第一电极刻蚀，得到图形化的第二电极、压电层及第一电极，构成图形化的振动膜单元；图形化的振动膜单元为具有六个相同尺寸三角形；对基底进行刻蚀，使图形化的振动膜单元形成六个尺寸相同的沟槽间隙，得到器件；在器件的上表面沉积一层封装材料，使沟槽间隙封闭；对器件的下表面进行刻蚀，在图形化的振动膜单元的背面形成背部腔，且背部腔的外轮廓覆盖图形化的振动膜单元的外轮廓。本发明同时兼有封闭膜与不封闭式膜的压电MEMS扬声器的优点，既有较大的振动膜振动偏移位移，又不会产生声压级的泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 封闭式 振动 压电 mems 扬声器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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