[发明专利]霍尔元件及霍尔元件的制备方法在审
| 申请号： | 202011530124.2 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112670404A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 李玉玲;刘兴宇;孙权;张鹏;尹延昭;吴佐飞;于洋;张强;李修钰;谢胜秋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 主分类号： | H01L43/06 | 分类号： | H01L43/06;H01L43/04;H01L43/14;G01D5/14 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 杨晓辉 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 霍尔元件及霍尔元件的制备方法，涉及传感器技术领域。本发明是为了解决现有MEMS或IC工艺制作的霍尔元件由于引出电极不对称性和半导体材料的不均匀性导致的霍尔元件输出非线性和零点失调的问题。本发明所述霍尔元件包括一个八边形的霍尔功能层，所述八边形相对的两边长度相同且相互平行，霍尔功能层互不相邻的四条边上分别连接有一个电极，每个电极均设有电气连接端，其中两个电极的电气连接端作为霍尔元件的电压输入端，剩余两个电极的电气连接端作为霍尔元件的电压输出端。 | ||
| 搜索关键词： | 霍尔 元件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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