[发明专利]光学轮廓扫描仪的校准方法有效
| 申请号： | 202011530335.6 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112797914B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 陈继刚;祝卿;付裕;包晓峰;余华昌 | 申请（专利权）人： | 上海精密计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 余岢 |
| 地址： | 201109 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学轮廓扫描仪的校准方法，包括：将标准球按放置于指定的5个位置，通过光学轮廓扫描仪分别对标准球进行扫描，以获取所述标准球的测量圆度值和测量直径值；将测量圆度值和标准球的上级标定的圆度值之差作为扫描仪的形状探测误差；将测量直径值和标准球的上级标定的直径值之差作为尺寸探测误差；对光学轮廓扫描仪进行球心距长度校准；将标准球杆放置于指定的7个位置，光学轮廓扫描仪分别进行扫描标准球杆，以获取标准球杆的测量球心距长度；将测量球心距长度和球杆上级标定的球心距长度之差，作为扫描仪的球心距测量示值误差。本发明采用实物标准球和球杆对光学轮廓扫描仪进行形貌校准，从而实现光学轮廓扫描仪扫描精度的校准。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 轮廓 扫描仪 校准 方法 | ||
【主权项】：
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