[发明专利]微音叉谐振器刚度自动匹配结构和方法有效
| 申请号： | 202011530820.3 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112751541B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 崔健;赵前程 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04;H03H9/21 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苟冬梅 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种微音叉谐振器刚度自动匹配结构和方法，涉及微机电传感器领域，所述方法包括：微音叉谐振器子谐振器上都添加独立的加力结构和匹配结构，通过加力结构产生对应的共模驱动力，通过前置读出电路输出振动信号，通过振动信号，自动获取开关控制信号和匹配电压，并将匹配电压施加于匹配结构上，进行负反馈控制，完成自动刚度匹配。采取本申请的技术方案，可以实现振动刚度的高效率、高精度匹配，且摆脱了对振动台的依赖，降低调试成本，并且，本申请可摆脱现有匹配方法中对振动台的依赖，且不受振动台激励信号频率范围限制、振动台安装限制，当微音叉谐振器在应用场景中安装固定后仍然可以实现原位在线匹配，无需使用振动台。 | ||
| 搜索关键词： | 音叉 谐振器 刚度 自动 匹配 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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