[发明专利]半导体存储器件在审
申请号: | 202011531383.7 | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN113270546A | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 郑圭镐 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L49/02 | 分类号: | H01L49/02;H01L27/108 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李敬文 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种半导体存储器件,包括:衬底上的电容器。该电容器包括:第一电极、在第一电极上的第二电极、以及在第一电极和第二电极之间的电介质层。第二电极包括第一层、第二层和第三层。第一层与电介质层相邻,并且第三层与第一层间隔开,使第二层介于第一层和第三层之间。第三层中的镍的浓度高于第一层中的镍的浓度。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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