[发明专利]一种纳米涂层探针及其制备方法在审
| 申请号： | 202011532880.9 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112481582A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 郭红建 | 申请（专利权）人： | 珠海拓优电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;G01R1/067;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 卢泽明 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市斗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种纳米涂层探针，包括探针主体、纳米涂层和绝缘涂层，所述纳米涂层包覆于所述探针主体外表面，所述探针主体包括测试部、连接部和固定部，所述绝缘涂层设于所述探针主体连接部对应的纳米涂层上，所述纳米涂层为纳米结构。本发明还提供一种纳米涂层探针的制备方法，利用PVD真空镀膜法制备纳米涂层，制备成本低，纳米涂层生成效果佳，适宜批量生产。本发明通过在探针主体外表面包覆一层纳米涂层，本纳米涂层具有纳米结构，可为纳米氮化钛涂层或纳米类金刚石涂层，有效提高探针的硬度和耐磨性能，增加探针的使用寿命，降低测试成本，提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 涂层 探针 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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