[发明专利]一种用于微小角度测量的F-P标准具干涉成像质量评价方法有效
| 申请号： | 202011533267.9 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112729168B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 刘源;沈小燕;李东升;禹静 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微小角度测量的F‑P标准具干涉成像质量评价方法，本发明通过测量并且评价F‑P标准具干涉成像图像的光强分布均匀性评价、图像的清晰程度评价、图像的椭圆化程度评价和图像的成像圆环之间最优选取评价，大大提高了成像质量，本发明弥补了在F‑P标准具干涉法测量微小角度中，缺少一个对干涉图像质量评价方法的不足，可实现用于微小角度测量的F‑P标准具干涉成像质量评价。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微小 角度 测量 标准 干涉 成像 质量 评价 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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