[发明专利]一种氟化氢气体处理工艺有效
| 申请号： | 202011533873.0 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112607708B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 罗建洪;陈高祥;王琳溪;郭子妮 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人： | 汪林 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氟化氢气体处理工艺，包括以下步骤：S1制备氟硅酸和二氧化硅；S2制备第一级处理的氟化氢气体；S3制备第二级处理的氟化氢气体；S4制备第三级处理的氟化氢气体，S5制备第四级处理的氟化氢气体；S6制备高纯的无水氟化氢气体；本发明的有益效果是：1通过采用浓硫酸进行氟化氢气体的脱水以及四氟化硅气体的酸性调节，再经过分子精馏，将硫酸分子和氟化氢分离，同时对杂质气体采用水或稀氟硅酸吸收，处理后的氟化氢依次通入壁面改性处理后的微通道设备中，再经过含分子筛的球形干燥器中处理，从而实现在微通道设备中氟化氢气体中杂质的充分吸收，以及处理过程中水汽等杂质的充分吸收，进而实现充分吸收的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟化氢 气体 处理 工艺 | ||
【主权项】：
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