[发明专利]双环形环绕圆形振动膜的压电MEMS扬声器及制备方法有效
| 申请号： | 202011534438.X | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112637748B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;王淇;阮涛 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;赵楠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双环形环绕圆形振动膜结构的压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：由第一电极层、压电层、第二电极以及致动层构成振动膜层；振动膜层设有圆形振动膜、第一环形振动膜及第二环形振动膜；圆形振动膜位于振动膜层的中心位置，第一环形振动膜套设于圆形振动膜的外层；第二环形振动膜套设于第一环形振动膜的外层；圆形振动膜与第一环形振动膜之间设有第一沟槽间隙；第一环形振动膜与第二环形振动膜之间设有第二沟槽间隙；圆形振动膜、第一、第二环形振动膜通过支撑梁连接；基底的背面设有背部腔；背部腔与第一、第二沟槽间隙连通。本发明在一整体单元上分布三个不同共振频率的振动膜，完全覆盖人耳能听到的20‑20000Hz频率范围，达到商业应用的声压级。 | ||
| 搜索关键词： | 环形 环绕 圆形 振动 压电 mems 扬声器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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