[发明专利]一种制备氟气和含氟混合气的装置及方法在审
申请号: | 202011536388.9 | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN112695338A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 林坤;王少波;徐海云;王亚峰;马朝选;鲁毅;耿谦;王斌 | 申请(专利权)人: | 中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司 |
主分类号: | C25B9/00 | 分类号: | C25B9/00;C25B1/24;C25B1/02;C25B15/00;B01D46/00;B01D53/00;B01D53/02 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 周蜜 |
地址: | 057550 河北省邯*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明涉及一种制备氟气和含氟混合气的装置及方法,属于氟气和含氟混合气制备技术领域。所述装置包括无水氟化氢储存钢瓶、连接管道、电解槽、微粒过滤器、一级冷凝器、二级冷凝器、气体混配器、配气储存瓶、充装压缩机、气体储罐、吸附塔和控制系统。在电解槽电解无水氟化氢生成氟气和氢气;进入微粒过滤器过滤;经过两级冷凝液化除杂;气体进入吸附塔,通过氟化钠化学吸附除去大部分气相氟化氢,获得纯度达到99.9%以上的高纯氟气;如需制备含氟混合气,使配气进入气体混配器中与所述高纯氟气混合得到含氟混合气。所述装置及方法制得的氟气纯度高,可根据需求与配气混合,广泛用于电子、新材料、航空航天、医药卫生等领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 氟气 混合 装置 方法 | ||
【主权项】:
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