[发明专利]半导体制造系统的动态调度方法有效
| 申请号： | 202011537045.4 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112650179B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 李莉;林国义;杨浩林 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 孟旭彤 |
| 地址： | 200000 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体制造系统调度的自组织调度方法包括S1：设置自组织单元的角色和参数，定义生产环境中的关键节点；S2：构建自组织单元之间的协商机制，设计决策和调度主体ESOU单元；S3：根据ESOU单元的决策指令，设计LSOU分配调度单元，负责区分单批处理和多批处理；S4：设计基于自组织单元的调度机制，来实现动态的半导体调度。本发明包括三个方面：自组织单元的角色定义，自组织单元之间的协商机制及其决策方法。基于真实行业基准生产线的模拟表明，该方法在工作移动，吞吐量和按时交付率方面提升了4.9％，9.06％和20.23％。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 制造 系统 动态 调度 方法 | ||
【主权项】：
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