[发明专利]可动态测量平面光学元件面形的测量装置及方法在审
| 申请号： | 202011537852.6 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112504164A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 段亚轩;达争尚;郑小霞;董晓娜;王拯洲;张伟刚;孙策;蔺辉;陈晓义;范尧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王凯敏 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 为了解决现有的平面光学元件面形测量装置测量精度低、测量动态范围小、测量实时性差的技术问题，本发明提出了一种可动态测量平面光学元件面形的测量装置及方法。本发明利用激光器、分光镜、准直物镜、衰减板、远场瞄准探测器、小孔、目镜、二元光学器件、探测器，实现对被测平面光学元件面形的动态高分辨率测量，测量过程不受外界环境的影响；利用远场瞄准探测器对被测平面光学元件相对入射至其表面光束之间的倾斜信息进行实时测量，从而实现高精度对准，保证了后续能实现高精度测量；采用的二元光学器件为微透镜阵列或者混合调制光栅，对应的测量原理分别为哈特曼‑夏克原理和横向剪切干涉原理，其相比传统相移干涉法具有更大测量动态范围。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 测量 平面 光学 元件 装置 方法 | ||
【主权项】：
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