[发明专利]一种四自由度激光指向控制系统及其控制方法有效

专利信息
申请号: 202011540777.9 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN112762863B 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 于德洋;潘其坤;李鑫鹏;郭劲;陈飞;孙俊杰;张阔;张鲁薇 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26;G02B26/08;G02B27/10;G05D3/12
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 巴翠昆
地址: 130033 吉林省长春市*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 本申请公开了一种四自由度激光指向控制系统及其控制方法,包括:CO2激光器,用于发出激光光束;指向调节模块,包括第一压电陶瓷偏摆镜和第二压电陶瓷偏摆镜,用于调节激光光束的指向;分光模块,用于将激光光束分成第一光束和第二光束;第一光束轰击锡靶;第二光束传输至指向位置监测模块;指向位置监测模块,包括第一相机和第二相机,用于分别对激光指向的近场光斑位置和远场光斑位置进行测量;工控机,用于根据第一相机、第二相机中的光斑位置与预定位置的偏差,解算施加给指向调节模块的驱动信号,以实时调整第一压电陶瓷偏摆镜和第二压电陶瓷偏摆镜的水平与俯仰角度。这样可以实现对激光指向的准直稳定控制,显著降低光束的抖动情况。
搜索关键词: 一种 自由度 激光 指向 控制系统 及其 控制 方法
【主权项】:
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