[发明专利]一种新型离子源等离子体中和器在审
| 申请号： | 202011541500.8 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112635287A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李伟 | 申请（专利权）人： | 长沙元戎科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 石家庄领皓专利代理有限公司 13130 | 代理人： | 张杏珍 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳市经济技术*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及离子源技术领域，提出了一种新型离子源等离子体中和器，包括阴极筒、阳极引盘、设置在阴极筒外侧的冷却筒，冷却筒外侧套设有永磁磁环，阳极引盘与阴极筒的一端存在间隔，阴极筒的另一端为进气端，冷却筒上设置有冷却空腔及与冷却空腔连通的进口及出口，阳极引盘接正电，阴极筒接负电。通过上述技术方案，解决了现有技术中等离子中和器成本高及离子源灯丝型中和器电子发生不稳定、连续工作时间短、有污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 离子源 等离子体 中和 | ||
【主权项】：
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