[发明专利]一种集成硅光子晶体波导的太赫兹探测器有效

专利信息
申请号: 202011541647.7 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN112747820B 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 涂学凑;张祎琛;周淑宇;蒋成涛;贾小氢;赵清源;张蜡宝;康琳;陈健;吴培亨 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: G01J1/42 分类号: G01J1/42;G02B6/122;G02B6/293
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 封睿
地址: 210093 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提出了一种集成硅光子晶体波导的太赫兹探测器,包括二维光子晶体平板、渐变耦合输入波导、线缺陷传输波导、多个L3型光子微腔,以及多个太赫兹探测器,其中:二维光子晶体平板由若干晶体单元组成,每个晶体单元上晶格周期排列形成三角晶格结构,不同的晶体单元上水平晶格常数不同,而垂直晶格常数相同,以此保持晶体单元分块的水平拼接对应;每个晶体单元上设置一个L3型光子微腔,每个L3型光子微腔上设置一个太赫兹探测器,各个晶体单元通过线缺陷传输波导连接,二维光子晶体平板通过渐变耦合输入波导与外接输入波导连接。本发明能够同时检测多个频段的太赫兹信号。
搜索关键词: 一种 集成 光子 晶体 波导 赫兹 探测器
【主权项】:
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