[发明专利]谐振式热红外传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011542257.1 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112710402B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 吴国强;韩金钊;吴忠烨 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/58 | 分类号： | G01J5/58;G01J5/22;G01J5/20;G01J5/34;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王焕 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种谐振式热红外传感器及其制备方法，具体涉及一种带有复合式声子晶体结构支撑梁的谐振式热红外传感器及其制备方法。本发明主要利用复合式声子晶体结构包含的多种声学禁带，既可以在谐振式热红外传感器工作频率段产生声子禁带降低谐振振子的锚点损耗，提高谐振式热红外传感器的品质因子(Q)，又可以在热声子频段产生热声子禁带，减小热损耗，提高谐振式热红外传感器的灵敏度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 红外传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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