[发明专利]乙烯与硅烷反应的SiC-CVD无氯外延制程尾气FTrPSA回收与循环再利用方法有效
| 申请号： | 202011542338.1 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112678774B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 钟雨明;钟娅玲;汪兰海;陈运;唐金财;蔡跃明;蒋强 | 申请（专利权）人： | 四川天采科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B3/56 | 分类号： | C01B3/56;C01B33/04;C07C7/12;C07C7/11;C07C7/04;C07C11/04;C07C7/00;C07C9/04 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 轩勇丽 |
| 地址： | 610041 四川省成都市中国（四川）自由贸*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了乙烯与硅烷反应的SiC‑CVD无氯外延制程尾气FTrPSA回收与循环再利用方法，属于半导体材料与半导体制程环保技术领域，以解决现有的处理的方法耗能高，成本高，不安全，大量有效组分未能有效利用，排放还带来温室效应的问题，通过预处理、中温变压吸附浓缩、浅冷变压吸附浓缩、吸附净化、氢气纯化、浅冷油吸收、中浅冷精馏、硅烷提纯与乙烯精制工序，将尾气中的氢气、硅烷、乙烯及甲烷有效组分进行了高纯度高收率的回收并返回至SiC‑CVD外延制程循环再利用，既实现尾气的有效组分全回收与循环再利用，又减少了尾气排放，弥补了SiC‑CVD外延制程尾气处理技术的空白，安全，耗能低，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 乙烯 硅烷 反应 sic cvd 外延 尾气 ftrpsa 回收 循环 再利用 方法 | ||
【主权项】：
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