[发明专利]基于氮化硅脊型波导的嵌入型石墨烯光调制器及制作方法在审
| 申请号： | 202011542940.5 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112630996A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 邹望辉;莫嘉豪;武俞刚;王淳风 | 申请（专利权）人： | 长沙理工大学 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03;G02B6/132 |
| 代理公司： | 长沙智路知识产权代理事务所(普通合伙) 43244 | 代理人： | 张毅 |
| 地址： | 410114 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于氮化硅脊型波导的嵌入型石墨烯光调制器及制作方法，光调制器包括：依次设置的衬底、隔离层和光调制结构；隔离层的材料为氧化硅；光调制结构包括脊型波导、石墨烯‑介质层‑石墨烯夹层结构和电极结构；脊型波导包括基部和脊部；石墨烯‑介质层‑石墨烯夹层结构包括上层石墨烯层、下层石墨烯层及位于上层石墨烯层和下层石墨烯层之间的介质层；上层石墨烯层和下层石墨烯层分别在脊型波导基部的两侧具有预先设定的延伸长度；电极结构包括位于脊型波导基部两侧的第一金属层，且脊型波导基部一侧的第一金属层位于上层石墨烯层之上，并与上层石墨烯层接触；脊型波导基部另一侧的第一金属层位于下层石墨烯层之上，与下层石墨烯层接触。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氮化 硅脊型 波导 嵌入 石墨 调制器 制作方法 | ||
【主权项】：
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