[发明专利]单晶炉热场加热器及单晶炉在审
| 申请号： | 202011543439.0 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112779595A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 杨文武;沈福哲 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本公开提供了一种单晶炉热场加热器及单晶炉，包括：底部加热器，底部加热器包括加热器主体和罩设于加热器主体外的绝缘保护罩，底部加热器通过绝缘轴承套固定于坩埚的坩埚轴上；至少一组导向组件，导向组件包括导轨和滑动件，导轨设置在底部加热器的侧面，导轨的导向方向与坩埚轴的轴向相同，滑动件连接至底部加热器，且滑动件以可移动方式设置在导轨上，滑动件在底部加热器带动下沿导轨运动。本公开提供的单晶炉热场加热器及单晶炉，阻止了氩气流对加热器主体的侵蚀及SiO |
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| 搜索关键词： | 单晶炉热场 加热器 单晶炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
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