[发明专利]一种用于太阳能电池片镀膜和光注入的集成设备和工艺

摘要

本发明公开了一种用于太阳能电池片镀膜和光注入的集成设备和工艺，包括硅片上料机构以将硅片平放在平躺的载板上进行上料并由链式传输机构输送载板进入装载真空腔；载板进入TCO镀膜腔内进行TCO镀膜；载板进入光注入退火腔内进行光注入退火；载板进入卸载真空腔内进行大气回填；采用硅片下料机构将硅片下料；空的载板经载板回转机构回传到上料端。本发明将TCO镀膜及光注入退火两道工序集成在一台设备中，利用平躺式载板以实现链式连续运行，在印刷银线前先完成光注入退火，工序整合度高，降低了设备投入，制程周期缩短，生产效率和产品良率提升，电池制造成本随之降低，解决了现有技术光注入退火工序导致的银线与硅片粘结强度下降的问题。