[发明专利]一种基于参考梁法的微纳力值标准测量装置及其溯源方法在审
| 申请号： | 202011545543.3 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112557701A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 蒋继乐;周惠言;张叶;吴实;吴鲲 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01Q40/02 | 分类号： | G01Q40/02;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于参考梁法的微纳力值标准装置及其溯源方法，系统包括：被测悬臂、已知悬臂、相机、线阵光源、纳米微动台、被测悬臂位置粗调单元、已知悬臂位置粗调单元、水平观测调整单元；微动台用于使被测悬臂与已知悬臂相互接触；被测悬臂位置粗调单元用于实现纳米微动台位移调整及角度调整；已知悬臂位置粗调单元用于保证已知臂梁的十字刻线中心处于被测悬臂针尖正下方；相机用于实时显示、记录已知悬臂和被测悬臂的位置状态；在溯源方法中，通过比较两悬臂移动的像素点个数，即可求得悬臂的刚度。利用现有技术测得已知悬臂的刚度值，进而对被测悬臂进行量值溯源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 参考 微纳力值 标准 测量 装置 及其 溯源 方法 | ||
【主权项】：
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