[发明专利]一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法

摘要

本发明公开了一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，包括S1，步骤S1，加工盲孔：在掩膜版的对应位置加工盲孔；S2，盲孔注蜡：将熔融的热蜡滴入到盲孔中，静置冷却后铲除盲孔上多余的蜡；S3，步骤S3，表面研磨：将注蜡完成的掩膜版上机整体进行打磨，去除盲孔周边打孔时翘起的毛刺；步骤S4，加热溶蜡：将打磨好的掩膜版进行加热，用加热后的溶剂对盲孔进行冲洗，本发明通过在掩膜版上开盲孔，再向盲孔中注蜡的方式，对盲孔进行填塞，保证掩模版在研磨前毛刺不翻入到盲孔中，克服现有加工盲孔中容易进入杂物的困难，通过加热以及溶剂冲洗的方式，可在外部研磨结束后，对盲孔内部的蜡进行溶解冲洗，实现盲孔内部以及周边的清洁。