[发明专利]由16-表-NB-甲基伏康树卡平碱合成的锍鎓盐类光致产酸剂及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202011548485.X 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN112552298A 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: 傅志伟;蒋小惠;李嫚嫚;毕景峰;贺宝元 申请(专利权)人: 上海博栋化学科技有限公司
主分类号: C07D471/08 分类号: C07D471/08;G03F7/004
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201614 上海市松江*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于光刻胶技术领域,公开了一种由16‑表‑NB‑甲基伏康树卡平碱合成的锍鎓盐类光致产酸剂及其制备方法。由16‑表‑NB‑甲基伏康树卡平碱合成的锍鎓盐类光致产酸剂包括以下通式结构:R1为连接基团,R2为烃基或含氟烃基,P1、P2和P3相互独立的表示氢或具有1到12个碳原子的任选取代的烷基。其合成步骤为:将16‑表‑NB‑甲基伏康树卡平碱与磺基乙酸盐化合物或与二(三氯甲基)碳酸酯和羟基乙磺类化合物,反应形成含16‑表‑NB‑甲基伏康树卡平碱结构和磺酸结构的中间体;将中间体与卤化锍进行离子交换反应,反应液经纯化得到含16‑表‑NB‑甲基伏康树卡平碱结构的光致产酸剂。本发明合成的锍鎓盐类光致产酸剂扩散低且亲水亲油平衡,且其制备方法简单。
搜索关键词: 16 nb 甲基 伏康树卡平碱 合成 盐类 光致产酸剂 及其 制备 方法
【主权项】:
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