[发明专利]由16-表-NB-甲基伏康树卡平碱合成的锍鎓盐类光致产酸剂及其制备方法在审
申请号: | 202011548485.X | 申请日: | 2020-12-23 |
公开(公告)号: | CN112552298A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 傅志伟;蒋小惠;李嫚嫚;毕景峰;贺宝元 | 申请(专利权)人: | 上海博栋化学科技有限公司 |
主分类号: | C07D471/08 | 分类号: | C07D471/08;G03F7/004 |
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地址: | 201614 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明属于光刻胶技术领域,公开了一种由16‑表‑NB‑甲基伏康树卡平碱合成的锍鎓盐类光致产酸剂及其制备方法。由16‑表‑NB‑甲基伏康树卡平碱合成的锍鎓盐类光致产酸剂包括以下通式结构: |
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搜索关键词: | 16 nb 甲基 伏康树卡平碱 合成 盐类 光致产酸剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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