[发明专利]半导体封装及其形成方法在审
申请号: | 202011549848.1 | 申请日: | 2020-12-24 |
公开(公告)号: | CN113053835A | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 张家纶;谢静华;蔡仲豪;刘重希;王垂堂;林修任 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L25/16;G02B6/12;H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 顾伯兴 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 提供一种半导体封装及其形成方法,半导体封装包括电子集成电路管芯、光电集成电路管芯及芯片间波导。电子集成电路管芯在侧向上被第一绝缘包封体包封。光电集成电路管芯在侧向上被第二绝缘包封体包封。光电集成电路管芯中的每一者包括光学输入/输出端子。芯片间波导设置在第二绝缘包封体之上,其中光电集成电路管芯通过芯片间波导彼此进行光学通信。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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