[发明专利]一种导电ZnO薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202011550052.8 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112645606B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陈志;汪洁;唐正;马在飞 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | C03C17/25 | 分类号： | C03C17/25 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵琪 |
| 地址： | 201620 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及导电薄膜技术领域，尤其涉及一种导电ZnO薄膜及其制备方法。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：将醋酸锌、乙醇胺和二甲氧基乙醇混合，得到醋酸锌前驱体溶胶；将醋酸锌前驱体溶胶在透明基板上成膜，得到醋酸锌凝胶膜；将醋酸锌凝胶膜进行热处理，得到第一层ZnO薄膜；重复所述成膜和热处理的过程1～5次，得到多层堆叠的ZnO薄膜；将所述多层堆叠的ZnO薄膜进行紫外光辐照，得到导电ZnO薄膜。根据实施例的记载，利用本发明所述的制备方法制备得到的导电ZnO薄膜的电阻率与AZO有相当接近的电阻率，同时在红外和近红外光区具有较好的透射率，可以用作红外和近红外的探测器以及太阳能电池器件的透明电极材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 zno 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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