[发明专利]一种薄膜氢气传感器、制作方法及工作方法在审
| 申请号： | 202011550706.7 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112649478A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 汪献忠;李建国;张志辉;赫树开 | 申请（专利权）人： | 河南省日立信股份有限公司;河南省智仪系统工程有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 郑州豫开专利代理事务所(普通合伙) 41131 | 代理人： | 朱俊峰 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种薄膜氢气传感器、制作方法及工作方法，包括基底，基底模面上设有对氢气敏感的测氢薄膜电阻、对温度敏感的测温薄膜电阻以及加热薄膜电阻；测温薄膜电阻和加热薄膜电阻为具有同一圆心的圆环形结构，测温薄膜电阻上设有一个断开的第一缺口形成第一测温终端和第二测温终端，加热薄膜电阻上设有一个断开的第二缺口形成第一加热终端和第二加热终端，测氢薄膜电阻设置测温薄膜电阻和加热薄膜电阻当中测氢薄膜电阻为并线双螺旋结构。本发明的薄膜氢气传感器相对结构简单，且制作工艺简单，周期短，成本可控，稳定可靠性强，可满足在氢燃料电池汽车应用中的成本要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 氢气 传感器 制作方法 工作 方法 | ||
【主权项】：
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