[发明专利]一种TC-SAW谐振器、制作方法和滤波器有效
| 申请号： | 202011551361.7 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112737541B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 史向龙;苏波;张俊茜;于倩至 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 冯瑛琪 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种TC‑SAW谐振器、制作方法和滤波器，TC‑SAW谐振器包括：单晶补偿衬底、设置在单晶补偿衬底上的单晶压电材料层和设置在单晶压电材料层上的叉指换能器；单晶压电材料层为10～60°Y切钽酸锂或者0～70°Y切铌酸锂；单晶压电材料的厚度为0.05λ～1λ，λ为声表面波波长；单晶补偿衬底为正温度系数的石英材料；具有更低温度系数要求和更高机电耦合系数，进一步提升Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tc saw 谐振器 制作方法 滤波器 | ||
【主权项】：
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