[发明专利]工件的清洗装置以及清洗方法

摘要

本发明提供一种工件的清洗装置以及清洗方法，在清洗后，能够抑制工件的背面中央部中的粒子附着量增加。工件的清洗装置具备：第1固定体（11），具有第1筒状部（11a）与盖部（11b）；第2固定体（12），在内部收纳第1筒状部（11a）；以及旋转体（13），第2筒状部（13a）配置在第1筒状部（11a）与第2固定体（12）之间，所述工件的清洗装置中具备：排气口（20），设置在第1固定体（11），用于将第1固定体（11）与旋转体（13）之间的空隙中的气体从空隙排出；排气管（21），配置在第1固定体（11）内，一端连接到排气口（20）；以及抽吸机构（22），连接到排气管（21）的另一端，抽吸第1固定体（11）与旋转体（13）之间的空隙中的气体。