[发明专利]一种微压传感器在审
申请号: | 202011553979.7 | 申请日: | 2020-12-24 |
公开(公告)号: | CN112781760A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 尹延昭;吴佐飞;田雷;李玉玲;刘兴宇;丁文波;张岩;顾博 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18;G01L9/06 |
代理公司: | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人: | 杨晓辉 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种微压传感器,涉及压力传感器技术领域。本发明是为了解决现有微压传感器测量结果容易出现误差的问题。本发明所述的一种微压传感器,包括两个交叉耦合互联的微压芯片。采用双微压芯片交叉耦合互联的方式,减小微压芯片的零点输出以及加速度、重力、敏感电阻自热等因素带来的测试误差。 | ||
搜索关键词: | 一种 传感器 | ||
【主权项】:
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