[发明专利]一种微压传感器在审

专利信息
申请号: 202011553979.7 申请日: 2020-12-24
公开(公告)号: CN112781760A 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 尹延昭;吴佐飞;田雷;李玉玲;刘兴宇;丁文波;张岩;顾博 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
主分类号: G01L1/18 分类号: G01L1/18;G01L9/06
代理公司: 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 代理人: 杨晓辉
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种微压传感器,涉及压力传感器技术领域。本发明是为了解决现有微压传感器测量结果容易出现误差的问题。本发明所述的一种微压传感器,包括两个交叉耦合互联的微压芯片。采用双微压芯片交叉耦合互联的方式,减小微压芯片的零点输出以及加速度、重力、敏感电阻自热等因素带来的测试误差。
搜索关键词: 一种 传感器
【主权项】:
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