[发明专利]一种石墨烯高灵敏度光电探测器及其制备方法

摘要

本发明属于光电器件技术领域，公开了一种石墨烯高灵敏度光电探测器及其制备方法，所述石墨烯高灵敏度光电探测器包括：复合衬底、隔离层、石墨烯接触电极、碳量子点、石墨烯薄膜及抗反射层；所述隔离层位于复合衬底；所述电极位于隔离层；所述碳量子点位于电极；所述石墨烯薄膜位于电极；所述石墨烯薄膜表面覆盖有抗反射层；所述复合衬底由硬质衬底和脆性衬底通过键合形成；所述硬质衬底为由二氧化硅构成，所述脆性衬底由InP或Ge构成；所述抗反射层为由二氧化硅组成的透明薄膜。本发明制备的光电探测器超薄、易于大面积集成，灵敏度高，能提高光电探测器的响应速度，在射线测量和探测、工业自动控制、光度量计等领域有着广泛的应用前景。