[发明专利]应用于MEMS加速度传感器的C/V转换系统及其控制方法有效
| 申请号： | 202011554879.6 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112769407B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 齐敏;马玉良;乔东海 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | H03F3/45 | 分类号： | H03F3/45;G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 吴竹慧 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于MEMS加速度传感器的C/V转换系统及其控制方法，包括：第一输入信号Vrp；第二输入信号Vrn；传感电容模块，其与第一输入信号Vrp和第二输入信号Vrn连接；第一开关电容放大模块，其与传感电容模块连接，第一开关电容放大模块对传感电容模块输出的信号进行处理，输出第一输出信号Voutn；第二开关电容放大模块；其与第一开关电容放大模块，第二开关电容放大模块对第一开关电容放大模块输出的信号进行处理，输出第二输出信号Voutp；其中，第二输出信号Voutp与第一输出信号Voutn为差分的互补信号。其形成差分的互补输出信号，加倍了信号范围，提高灵敏度，抑制了电源上由数字电路引入的的共模噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 mems 加速度 传感器 转换 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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