[发明专利]一种规避环境污染的无尘室布置方式及采用其的无尘室在审
| 申请号： | 202011555912.7 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112728664A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李金;王瑞 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | F24F3/16 | 分类号： | F24F3/16;F24F8/10;F24F7/003;F24F7/06;F24F13/02;F24F13/08;F24F13/28 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201500 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种规避环境污染的无尘室布置方式及采用其的无尘室，该布置方式在上夹层远离下夹层的一侧设置MAU新风机组，并使MAU新风机组分别向STK区和无尘室提供新风；该布置方式还包括分别设置STK区回风通道和无尘室回风通道，使STK区和无尘室分别独立回风。本发明提供的布置方式通过设置回风挡板，使MAU新风机组分别向STK区和无尘室提供新风，并通过回风挡板分别形成STK区回风通道和无尘室回风通道，使STK区和无尘室分别独立进行回风，使无尘室内工艺生产设备产生的污染物不会STK区中的产品，提升产品良率，降低因污染造成的产品成本损失。本发明提供的布置方式构思巧妙，成本较低，适用于各种无尘室生产车间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 规避 环境污染 无尘室 布置 方式 采用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海和辉光电股份有限公司，未经上海和辉光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011555912.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新型风电法兰
- 下一篇：存储服务请求的处理方法、装置、计算机设备及存储介质
