[发明专利]模块化封装结构及方法在审
申请号: | 202011557307.3 | 申请日: | 2020-12-24 |
公开(公告)号: | CN112687661A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 曹立强 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528;H01L23/485;H01L21/50 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 张东梅 |
地址: | 214028 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种模块化封装结构及方法,堆叠布置的多个重构晶圆模块,每个重构晶圆模块与其他重构晶圆模块的相对面中至少一面具有光刻胶导电连接体;所述光刻胶导电连接体包括最外侧的光刻胶层及第一重新布线层;所述第一重新布线层将各个重构晶圆模块的电性引出至与光刻胶层位于同一平面的凸点;各个重构晶圆模块的光刻胶层通过晶圆级键合融合为一体,各个重构晶圆模块的凸点通过晶圆级键合形成电连接;至少一个重构晶圆模块的电性通过第三重新布线层引出。 | ||
搜索关键词: | 模块化 封装 结构 方法 | ||
【主权项】:
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