[发明专利]一种二维材料光/电性能测试系统有效
申请号: | 202011558084.2 | 申请日: | 2020-12-25 |
公开(公告)号: | CN112666126B | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
发明(设计)人: | 樊鹤红;王少凯;孙小菡;王俊嘉;柏宁丰;刘旭;董纳;沈长圣 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41;G01R27/08 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 吴旭 |
地址: | 210000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种二维材料光/电性能测试系统,可对热/电/光应力变化条件下二维材料的复折射率和电阻/电导率等参数进行综合测试。该系统由电参数检测模组、光参数检测模组、旋转载物台、温控模组、电极载玻片和数据处理模块组成。其中,电极载玻片的主体为透明绝缘介质,在透明绝缘介质上表面固定若干薄膜电极,形成若干固定的测试区域,测试区域包括二探针法电阻/电导率测试区域、四探针法电阻/电导率测试区域。电参数检测模组包括多路电流/电压源和电压/电流数据采集器;温控模组用于对电极载玻片进行加热/制冷控制;光参数检测模组包括光源模块、光路模块、光检测模块;电参数检测模组和光参数检测模组均连接数据处理模块。 | ||
搜索关键词: | 一种 二维 材料 性能 测试 系统 | ||
【主权项】:
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