[发明专利]一种交变电场辅助飞秒激光加工微通道的系统及方法有效
| 申请号： | 202011558358.8 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112756819B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;闫剑锋;李佳群 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/55 | 分类号： | B23K26/55;B23K26/0622;B23K26/06;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于飞秒激光应用技术领域，涉及一种交变电场辅助飞秒激光加工微通道的系统及方法。本发明系统由交变电场电路系统与飞秒激光光路系统组成，包括飞秒激光器，光学元件，电压板，交流电源，变频器与纳米平移台等；本发明的微通道加工方法利用高频交变电流实现周期性变化的外加电场，使飞秒激光加工过程中的带电烧蚀产物在周期性高频交变电场的作用下进行相应频率的小幅度往复振动，或是使烧蚀产物极化后出现电荷不均匀导致受力不平衡出现往复振荡，实现加工产物的解离与碎片化，进而带动气泡等电中性烧蚀产物的振动解离过程。该方法可以有效地解决碎屑，残渣，气泡等烧蚀产物的排出，解决缺陷或光场波动带来的质量问题，同时避免引起样品的振动，得到高质量的高深径比微通道结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 交变电场 辅助 激光 加工 通道 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;北京理工大学，未经清华大学;北京理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011558358.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
