[发明专利]一种FMM精细金属掩膜板在审
| 申请号： | 202011559029.5 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112575289A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 罗云鹏 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 柯玉珊 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种FMM精细金属掩膜板，包括掩膜版，所述掩膜版包括蒸镀像素格和减重槽；所述减重槽位于所述掩膜版除所述蒸镀像素格之外的位置上。即本发明通过在掩膜版上设置减重槽，降低掩膜版的自身重量，从而减少掩膜版的下垂量，达到改善蒸镀良率及蒸镀品质的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 fmm 精细 金属 掩膜板 | ||
【主权项】：
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