[发明专利]金刚石线切割循环系统有效
| 申请号： | 202011561576.7 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112720888B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 王涛;朱超;宋宝业;李元 | 申请（专利权）人： | 句容协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B24B27/06;C10M175/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 212400 江苏省镇江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石线切割循环系统，包括金刚石线切割机、过滤装置、输液管道、储液罐、切割垫板和循环液，其中切割垫板为抗菌切割垫板；循环液由切割产生的硅粉、垫板粉和弱酸性切割液混合后经过过滤装置过滤所得，为弱酸性、低电导的抗菌性循环液。本发明的循环系统，稳定性高、硅片崩边率低、金刚石切割线卡线率和断线率低、不易滋生菌群造成污染堵塞、简化工艺且降低成本，具有很高的推广意义。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 切割 循环系统 | ||
【主权项】：
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