[发明专利]一种进行晶圆定位检测的装置及方法在审
| 申请号： | 202011561618.7 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112729181A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 董怀宝;刘恩龙;高飞翔 | 申请（专利权）人： | 上海广川科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;吴世华 |
| 地址： | 200444 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种进行晶圆定位检测的装置，包括晶圆盒以及位于晶圆盒一侧的检测单元，所述晶圆盒自上而下设置用于承载晶圆的装载台；所述检测单元包括控制器、检测框架以为位于检测框架中的滑轨、限位传感器、加速度传感器、检测盖和晶圆扫描传感器；其中，所述晶圆扫描传感器和加速度传感器固定在所述检测盖上，所述限位传感器固定在所述检测框架一侧；所述检测盖沿着所述滑轨上下移动；所述限位传感器、加速度传感器和晶圆扫描传感器连接至控制器；本发明提供的一种进行晶圆定位检测的装置及方法，能够快速准确地确定晶圆盒中晶圆的位置，且整个检测装置占地面积小，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 进行 定位 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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