[发明专利]电阻应变片及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202011563522.4 申请日: 2020-12-25
公开(公告)号: CN112747665A 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 冯雪;傅棋琪 申请(专利权)人: 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
主分类号: G01B7/16 分类号: G01B7/16
代理公司: 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 代理人: 林丽璀
地址: 314006 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请涉及一种电阻应变片及其制作方法,电阻应变片包括柔性衬底与应变敏感栅,应变敏感栅位于柔性衬底的一侧表面,应变敏感栅包括多段相互连接的蛇形栅线。电阻应变片的制作方法,包括:提供一基板组件,基板组件包括施主基板及可剥离地设置在施主基板一侧表面的第一柔性衬底;在第一柔性衬底上形成应变敏感栅,应变敏感栅包括多段相互连接的蛇形栅线;将第一柔性衬底与应变敏感栅的组合体从施主基板上剥离;将组合体的具有第一柔性衬底的一侧贴附在第二柔性衬底的表面;得到电阻应变片。本申请的电阻应变片的应变敏感栅包括多段相互连接的蛇形栅线,可以有效地提升电阻应变片的拉伸应变极限和变形耐受度,同时保证电阻应变片的应变敏感性。
搜索关键词: 电阻 应变 及其 制作方法
【主权项】:
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