[发明专利]纳米复合共振腔周期阵列超表面多通道红外滤波器

摘要

本发明涉及一种纳米复合共振腔周期阵列超表面多通道红外滤波器，包括：设置于SiO2衬底上的具有纳米结构的金膜，所述具有纳米结构的金膜为超表面；所述超表面上的纳米结构为周期阵列的复合共振腔，复合共振腔包括一个水平共振腔和与水平共振腔垂直的两个垂直共振腔，两个垂直共振腔设置于所述水平共振腔的两侧，且两个垂直共振腔与水平共振腔的腔体连通；水平共振腔和垂直共振腔的宽度为亚波长量级；超表面具有三个透射增强峰，第一透射增强峰由水平共振腔产生，第二透射增强峰和第三透射增强峰分别由两个垂直共振腔产生。本发明的滤波器基于具有纳米结构的超表面形成，在纳米量级上对特定频率的光波进行选择性传输，突破了光学衍射极限的限制。