[发明专利]一种远程等离子源RPS腔体阳极氧化方法有效
| 申请号： | 202011565459.8 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112899747B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 刘文丰;崔婷婷;皮昌全 | 申请（专利权）人： | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/02 | 分类号： | C25D11/02 |
| 代理公司： | 南京源点知识产权代理有限公司 32545 | 代理人： | 黄晨 |
| 地址： | 225000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种远程等离子源RPS腔体阳极氧化方法，包括如下步骤：S1预处理：打磨基材，之后依次进行去脂、水洗、碱洗、中和和水洗操作，露出金属基体；S2阳极氧化：将基材放置在电解液中作为阳极，施加电源进行硬质阳极氧化处理；S3后处理：将经过步骤S2处理的基材水洗后，依次进行封孔和烘干操作，即得。本发明采用200～240目的百洁布打磨Al基材可以赋予表面比较合适的粗糙度，能够诱导产生局部的细微裂纹，从而减少硬质氧化膜特性带来较大影响的裂纹；既不会因为粗糙度过大导致氧化膜生长不完整，又在一定程度上减小了氧化膜的内应力，降低了硬质氧化膜裂纹的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 远程 离子源 rps 阳极 氧化 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏神州半导体科技有限公司，未经江苏神州半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011565459.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
