[发明专利]用于熔石英元件表面激光辐照损伤缺陷的组合修复方法有效
| 申请号： | 202011566438.8 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112723756B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 宋辞;邓明杰;石峰;张耀飞 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00;C03B20/00;B24B13/01;B24B1/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于熔石英元件表面激光辐照损伤缺陷的组合修复方法，包括对损伤样件批量去除小损伤点；对批量去除小损伤点后的损伤样件进行表面质量和面形修复；针对完成表面质量和面形修复后的损伤样件进行单点修复未去除的大损伤点，得到修复完成的损伤样件。本发明通过去除小损伤缺陷、表面质量和面形恢复、修复大损伤缺陷三个步骤的组合，可实现大小损伤缺陷的去除，确保损伤样件的表面质量和面形，可有效提高熔石英元件表面激光辐照损伤缺陷的修复质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 石英 元件 表面 激光 辐照 损伤 缺陷 组合 修复 方法 | ||
【主权项】：
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