[发明专利]一种双层POI结构声表面波谐振器及制造方法在审
| 申请号： | 202011567443.0 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112737537A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;许欣;柯亚兵 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/25;H03H9/145 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨洁 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种双层POI结构声表面波谐振器及制造方法。该谐振器包括：衬底、衬底之上的底部POI结构、底部POI结构之上的电极、电极之上的顶部POI结构。其中底部POI结构包括：底部高声速层、底部氧化层、及压电薄膜；顶部POI结构包括：顶部氧化层及顶部高声速层。本发明的谐振器制造方法包括，衬底上依次沉积底部高声速层和底部氧化层后与采用smart cut方法获得的LiTaO |
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| 搜索关键词： | 一种 双层 poi 结构 表面波 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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