[发明专利]接触结构主体和用于确定样本的特征的系统在审
申请号: | 202011567692.X | 申请日: | 2015-07-13 |
公开(公告)号: | CN112748159A | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 胜本洋一;佐藤一雅;寺门大介 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | G01N27/22 | 分类号: | G01N27/22;G01N33/49;G01N33/487 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请涉及接触结构主体和用于确定样本的特征的系统。该接触结构包括:分离器,将样本架从测量电路物理地分离;以及接触探针,其被配置成电连接样本架的电极至测量电路,该接触探针包括。接触结构主体可以是用于确定样本的特征的系统的一部分。该系统包括用于保持样本的样本架。该样本架包括电极。该系统还包括测量电路,用于测量样本的至少一个特性。 | ||
搜索关键词: | 接触 结构 主体 用于 确定 样本 特征 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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