[发明专利]彩色CMOS图像传感器像素阵列、传感器以及制备工艺

摘要

本发明公开了一种彩色CMOS图像传感器像素阵列、传感器以及制备工艺，其中，彩色CMOS图像传感器像素阵列包括：a像素、b像素和c像素；所述a像素的表面具有第一滤光层；所述b像素的表面具有第二滤光层；所述c像素的表面具有第三滤光层；其中，所述第一滤光层、所述第二滤光层和所述第三滤光层具有不同的N+掺杂浓度和/或深度；由所述a像素、b像素和c像素通过差分光谱响应的方式实现色彩还原。解决了现有技术中色彩呈现度和有效空间分辨率降低，以及滤光片本身不利于弱光条件下的成像的问题。通过设计彩色CMOS图像传感器像素阵列减少滤光片的制备，增强了弱光条件下彩色CMOS图像传感器的灵敏度。