[发明专利]用于高低温箱内样品测量的长工作距离高分辨率显微成像装置有效
| 申请号： | 202011569722.0 | 申请日： | 2020-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN112596227B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 宋旸;李莎莎;施雨清;蔡华俊 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G02B21/36 | 分类号： | G02B21/36;G02B21/02;G01N21/84;G01N25/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于高低温箱内样品测量的长工作距离高分辨率显微成像装置，由成像光路和工业数字相机组成，通过ZEMAX软件进行光路设计和优化，最终得到具有工作距离420mm、视场范围直径8mm、分辨率10μm、各项成像指标接近衍射极限的成像光路；与合适的工业数字相机匹配，组成长工作距离高分辨率的成像装置。该装置既可用高低温箱内样品的成像与测量，也可用于工业检测领域中成像光路与样品远离且需要进行高分辨成像的场合。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 低温 样品 测量 工作 距离 高分辨率 显微 成像 装置 | ||
【主权项】：
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