[发明专利]一种透镜型气体传感器在审
申请号: | 202011570165.4 | 申请日: | 2020-12-26 |
公开(公告)号: | CN114689513A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 袁宇鹏;杨靖;张祖伟;何香君;李小飞 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十六研究所;中电科技集团重庆声光电有限公司 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/01 |
代理公司: | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人: | 卢胜斌 |
地址: | 400060*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明涉及光声气体传感器技术领域,具体涉及一种透镜型气体传感器,包括:感测室、激励元件和检测元件,所述感测室为带孔的空腔结构,所述激励元件和所述检测元件设置于感测室内部。所述感测室的结构包含电路层基板和外壳;所述激励元件包含光源、滤光片和凸透镜,所述检测元件采用气体声学探测器件。本发明的微型化光声气体传感器同传统的光声气体传感器相比,灵敏度更高、测量精度更高、分辨力更高。 | ||
搜索关键词: | 一种 透镜 气体 传感器 | ||
【主权项】:
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