[发明专利]一种新型FBAR滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011572935.9 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112671367A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 李国强;衣新燕;赵利帅;欧阳佩东;刘红斌;张铁林 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍;江裕强 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型FBAR滤波器及其制备方法。该方法包括：在制备衬底上刻蚀出凹槽，在凹槽内制备压电材料和底电极，在制备底电极之前首先制备一薄层种子层，制备空气腔支撑层，另取支撑衬底，将该支撑衬底与制备衬底及空气腔支撑层键合在一起，去除制备衬底，露出压电材料，在压电材料上制备顶电极，将底电极引出，得到由多个谐振器级联而成的滤波器。本发明通过先在制备衬底上挖凹槽再生长压电材料的方法，有效避免生长整层压电薄膜导致应力过大产生裂纹的问题，降低了压电薄膜的应力，同时因每个谐振单元的压电薄膜不连续，有效避免了能量的横向传输造成能量损失的问题，同时还可以有效抑制杂波，提高了滤波器的制备良率和性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 fbar 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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