[发明专利]炉管清洗装置及炉管清洗设备有效
| 申请号： | 202011572977.2 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112808720B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 王延广;赵宏宇;张敬博;高广新;梁家齐 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/049 | 分类号： | B08B9/049;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 左文 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种炉管清洗装置及炉管清洗设备，装置包括：传动机构、清洗机构和清洗介质管路；所述传动机构与所述清洗机构连接，用于驱动所述清洗机构在炉管内移动；所述清洗介质管路与所述清洗结构连通，用于将清洗介质通入所述清洗机构；所述清洗机构用于喷出所述清洗介质，并在所述清洗介质的反作用力下旋转。实现对炉管内壁的自动清洗，提高清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 炉管 清洗 装置 设备 | ||
【主权项】：
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